| 品牌 | 昊量光電 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2-制樣無(wú)需復(fù)雜光刻（樣機(jī)可試用）
昊量光電全新推出的同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2。利用同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2的集成開(kāi)關(guān)矩陣實(shí)現(xiàn)無(wú)限的精度和穩(wěn)定性用于片狀、霍爾和電阻張量的測(cè)量。
同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2具有高精度的霍爾效應(yīng)測(cè)量，無(wú)需光刻圖案，適用各種形狀樣品。測(cè)量電阻范圍從Nano-Ohm 到Tera-Ohms，高達(dá)8位以上動(dòng)態(tài)范圍。
集成多功能開(kāi)關(guān)矩陣結(jié)構(gòu)，可取代鎖相放大器、源測(cè)量單元、數(shù)字萬(wàn)用表和模擬矩陣開(kāi)關(guān)。
同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2-制樣無(wú)需復(fù)雜光刻主要功能：
同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2專為自動(dòng)精密測(cè)量電阻和相關(guān)量而設(shè)計(jì)。半導(dǎo)體參數(shù)分析儀RTM2將直流和交流測(cè)量與集成開(kāi)關(guān)矩陣結(jié)合在一起。
同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2具有鎖定放大器的低噪、具有萬(wàn)用表 8 位以上的動(dòng)態(tài)范圍和較好的穩(wěn)定性，可研究 ppb 級(jí)效應(yīng)。nΩ研究變得所未有的簡(jiǎn)單。
創(chuàng)新的連接器設(shè)計(jì)允許傳統(tǒng)的 BNC 操作與被動(dòng)屏蔽或主動(dòng)防護(hù)屏蔽。這將直流阻抗上限擴(kuò)展到了 Tera-Ohm 范圍，并將交流帶寬提高了約兩個(gè)數(shù)量級(jí)，以測(cè)試MΩ器件。
同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2只需一臺(tái)設(shè)備就能自動(dòng)記錄完整的電阻張量（Rx、Ry、RH），即使是在無(wú)圖案的薄膜上。
同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2可用于材料研究、薄膜表征以及傳感器、晶片和設(shè)備測(cè)試。在快速多路復(fù)用設(shè)置中進(jìn)行交流測(cè)試的能力，可在現(xiàn)場(chǎng)生產(chǎn)過(guò)程中實(shí)現(xiàn)更嚴(yán)格的元件分選。
同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2開(kāi)關(guān)矩陣的優(yōu)點(diǎn)：
萬(wàn)用表或鎖相放大器等傳統(tǒng)精密設(shè)備依賴于與被測(cè)設(shè)備（DUT）靜態(tài)連接的四線電阻測(cè)量方法。這種方法不可避免地會(huì)受到來(lái)自被測(cè)設(shè)備和測(cè)量設(shè)備本身的各種干擾影響。
惠斯通電橋或平版印刷霍爾條圖案等測(cè)量安排可用于減少某些干擾的影響，但它們都依賴于實(shí)際電阻器或蝕刻圖案的精確和穩(wěn)定的對(duì)稱性，這在實(shí)踐中是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。
相比之下，矩陣開(kāi)關(guān)可以在時(shí)域中分離干擾的影響。其中一個(gè)例子是van-der-Pauw范德堡方法，它可以精確區(qū)分縱向和橫向電阻，即使是在沒(méi)有光刻圖案的不規(guī)則形狀樣品上也是如此。
另一個(gè)例子是某些直流儀表采用的 "自動(dòng)歸零（auto-zeroing）"，以補(bǔ)償偏移漂移。但這還不夠。同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2的全矩陣切換功能及其與緊密多路交流測(cè)量的兼容性為我們帶來(lái)了無(wú)限可能。
可以對(duì)偏移和增益漂移進(jìn)行補(bǔ)償，從而實(shí)現(xiàn)無(wú)限的穩(wěn)定性。這里的 "無(wú)限 "是字面意思：可實(shí)現(xiàn)的精度不是 7、8 或 10 位數(shù)，而是您愿意等待的位數(shù)。在自己的實(shí)驗(yàn)室里進(jìn)入計(jì)量圈子吧！
還可以對(duì)整個(gè)儀器的復(fù)合非線性進(jìn)行補(bǔ)償。這樣就可以測(cè)試亞ppm 級(jí)的 I-V 非線性，從而在較低和較溫和的電流密度下看到更高階的傳輸物理。
同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2突出亮點(diǎn)
基于集成開(kāi)關(guān)矩陣的可重構(gòu)設(shè)備架構(gòu)
8 個(gè)用戶自定義端口（BNC 連接器），功能（輸入、輸出和/或參考）可自由確定
BNC 屏蔽可配置為無(wú)源接地或有源屏蔽
使用固定連接（開(kāi)爾文或霍爾幾何）進(jìn)行傳統(tǒng)的交流和直流 4 線測(cè)量
交替連接的交流和直流測(cè)量（電阻張量測(cè)量、范-德-波測(cè)量或電阻率測(cè)量）
同時(shí)測(cè)量薄膜縱向和橫向電阻的精確絕對(duì)值，無(wú)需光刻圖案
常用測(cè)量模式的軟件預(yù)設(shè)，可任何用戶特定的切換序列
基于 TCP 的通信，可輕松集成到任何環(huán)境中（如 Labview、C、Python）
同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2主要的優(yōu)勢(shì)：
可替代所有用于電氣特性測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備(例如鎖定放大器、SMU、DMM）
通過(guò)集成的矩陣開(kāi)關(guān)克服了靜態(tài) 4 點(diǎn)測(cè)量的局限性
提供范-德-波測(cè)量和電阻張量測(cè)量的預(yù)設(shè)值，并允許用戶進(jìn)行全面配置
無(wú)需進(jìn)行復(fù)雜的樣品制備（如平版印刷）。
可輕松連接多種不同的測(cè)量裝置（如探針臺(tái)、低溫恒溫器、真空系統(tǒng)等）
節(jié)省測(cè)量時(shí)間，提高樣品吞吐量
同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2主要的應(yīng)用領(lǐng)域
材料研究與表征
固體物理
半導(dǎo)體物理
磁性器件
柔性電子器件
自旋電子學(xué)
新型功能電子材料和器件
工業(yè)研發(fā)和晶片/設(shè)備測(cè)試
微電子設(shè)備
存儲(chǔ)器
晶體管、二極管
LED/OLED
太陽(yáng)能電池
顯示器、TCO
傳感器
同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2典型測(cè)試示例：
在標(biāo)準(zhǔn)幾何結(jié)構(gòu)（開(kāi)爾文和霍爾布局）中進(jìn)行超低噪聲、高穩(wěn)定性交流和直流 4 線測(cè)量
對(duì)不規(guī)則、無(wú)結(jié)構(gòu)薄膜樣品進(jìn)行范德保開(kāi)關(guān)連接 4 線測(cè)量
基礎(chǔ)物理學(xué)和計(jì)量學(xué)中的亞ppm 相對(duì)變化和非線性測(cè)量
零偏移霍爾 4 線測(cè)量（即使是非結(jié)構(gòu)化樣品，也能準(zhǔn)確分離縱向電阻和橫向電阻）
比率電阻測(cè)量，消除樣品和設(shè)備漂移
高驅(qū)動(dòng)諧波失真測(cè)量
脈沖和測(cè)量例程
同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2軟件界面：
同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2規(guī)格參數(shù)：
同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2產(chǎn)品示意圖：
設(shè)備前面板包括：1. 8個(gè)BNC端口，用于多個(gè)模擬功能：驅(qū)動(dòng)、感測(cè)、參考相位鎖定。2. LED指示燈，用于指示端口功能：輸入（白色箭頭）或輸出（藍(lán)色箭頭）。3. 冷卻風(fēng)流入口（請(qǐng)勿阻擋）。4. 便于攜帶和機(jī)架安裝的把手。5. 19英寸機(jī)架安裝孔。
設(shè)備后面板包括：6. 2個(gè)BNC端口，用于多個(gè)數(shù)字功能：觸發(fā)、閾值檢查、PWM。7. 以太網(wǎng)連接器，用于主要的TCP通信。8. 帶保險(xiǎn)絲和開(kāi)關(guān)的主電源插口。9. 設(shè)備信息顯示。10. 冷卻風(fēng)流出口（請(qǐng)勿阻擋）。
同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2技術(shù)參數(shù)：
電氣規(guī)格
模擬輸出 | |
對(duì)稱輸出 | DC to 60 kHz, ±20 V, ±200 mA |
輸出噪聲底限 | < -150 dBFS |
積分非線性誤差 | 5 ppm |
時(shí)間分辨率 | 2µs脈沖和任意波形模式 |
開(kāi)關(guān)矩陣 | |
矩陣大小 | 8接口x 4模擬功能 |
大開(kāi)關(guān)頻率 | 1 kHz |
開(kāi)關(guān)電阻 | 2.5 ?, SNS: 5.0 ? |
浮動(dòng)列阻抗 | 0.5 T? || 5 pF |
測(cè)量 | |
BJT輸入（SNS+和SNS-的復(fù)合） | 1.5 nV/√Hz, 2500 fA/√Hz |
FET輸入噪聲（SNS+和SNS-的復(fù)合） | 8 nV/√Hz, 2 fA/√Hz |
FET輸入負(fù)載 | <1 pA, 0.1 pA/V, 8 pF |
電阻測(cè)量噪聲底線 | 10 nΩ/√Hz（直接BJT輸入） |
<1 nΩ/√Hz（變壓器耦合的FET輸入） | |
增益變化 | 100 ppm/K |
<1 ppm/K（比例模式） | |
1 ppb（在有熱穩(wěn)定參考的比例模式） | |
直流偏置電壓變化 | ±1 μV/K, ±3 ppm/K |
<0.1 ppm/K (差分模式) | |
范圍 | |
串聯(lián)電阻 | 4, from 100 ? to 20 M? |
輸出電壓測(cè)量 | 4, log, from 20 V to 2 V |
輸入電壓測(cè)量 | 8, log, from 20 V to 100 mV |
電流測(cè)量 | 4 per resistor, log, from 200 mA to 100 nA |
在范圍內(nèi)的基本精度 | <1 ppm滿量程，用于輸出電壓和電流 |
<0.1 ppm滿量程，用于輸入電壓 | |
在一個(gè)范圍內(nèi)的連續(xù)動(dòng)態(tài)范圍 | > 8 digits |
相位和頻率同步 | |
輸出端口 | 任何一個(gè)前端BNC端口 |
輸入端口 | 固定:任何前端的BNC |
動(dòng)態(tài):跟隨任何模擬函數(shù) | |
同步范圍 | 2 Hz到50 kHz，任意相移 |
波形類型 | 輸出：正弦波 |
輸入：任意信號(hào)(鎖定到主導(dǎo)頻率) | |
數(shù)字I/O端口 | |
信號(hào)電平 | 單端3.3V cmos邏輯，正極觸發(fā) |
帶寬 | 10 MHz |
輸入函數(shù) | HI/LO，觸發(fā)(解調(diào)或脈沖產(chǎn)生)，pwm -模擬計(jì)數(shù)器，聯(lián)鎖 |
輸出函數(shù) | HI/LO，同步脈沖(開(kāi)始解調(diào)或脈沖產(chǎn)生)，模擬- pwm輸出，限位指示 |
時(shí)間延遲 | < 100 ns(到數(shù)字I/O功能) |
< 50 µs(模擬I/O功能) | |
輸出脈沖形狀 | 100µs HI脈沖，否則為L(zhǎng)O |
硬件/安裝
大小 | 19英寸機(jī)架安裝設(shè)備，2個(gè)高度單位，32厘米深度 |
功率需求 | <75 W，通用AC單相AC輸入，C14連接器 |
操作范圍 | 0°C - 50°C，無(wú)冷凝濕度 |
前端連接器 | BNC, 50 Ω型，防護(hù)罩可切換為防護(hù)罩或底盤(pán) |
后端連接器 | BNC, 50 Ω型，屏蔽連接到機(jī)箱 |
通訊端口 | 以太網(wǎng) |
制冷 | 增壓氣流從前到后 |
前端LED指示燈 | 操作，通道選擇，都是可調(diào)的和可分離的 |
同步源測(cè)系統(tǒng)RTM2貨物清單：
Tensormeter RTM2 19英寸機(jī)架安裝設(shè)備
軟件包，包括LabVIEW和Python的客戶端代碼示例（無(wú)需驅(qū)動(dòng)程序）
Tensormeter RTM2用戶指南，包括TCP命令、操作參數(shù)指南
帶F型連接器的主電源電纜（根據(jù)需要提供其他類型）
以太網(wǎng)電纜
關(guān)于昊量光電：
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