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70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源

簡要描述:70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源(ALE/2系列,12英寸晶圓)已廣泛試用在掩膜對準系統,步進系統(封裝),準直曝光系統及大功率輻射要求的固化系統,ALE/2系列UV-LED曝光光源已成為半導體光刻制造及檢測領域中的一個理想工具。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-04-12
  • 訪  問  量:310
詳細介紹
品牌昊量光電產地類別國產
應用領域綜合

70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源(ALE/2系列,12英寸晶圓)

--- 適用于12英寸大型基板曝光


ALE/2 系列UV-LED曝光光源是一款大功率的曝光光源,高達70W的i線(365nm)曝光,高達80W的寬帶曝光(350-450nm),適用于均勻度較高以及準直性能高的大型基板曝光工具(比如12英寸,8英寸),目前已廣泛試用在掩膜對準系統,步進系統(封裝),準直曝光系統及大功率輻射要求的固化系統,ALE/2系列UV-LED曝光光源已成為半導體光刻制造及檢測領域中的一個理想工具。


ALE/2系列UV-LED曝光光源是一款高性能紫外點光源,適用于需要均勻和準直輻射的大型基材工業泛光曝光工具。這些可能是8″(200毫米)或12″(300毫米)掩模對準器。它的紫外線輸出足夠強大,可以為更大的裝置提供動力,正方形曝光面積可達400 X 400毫米,在某些情況下,甚至超過這個范圍。ALE/2采用UV-LED技術,具有優異的輸出穩定性和靈活的光譜控制,優于傳統的高壓汞放電燈。此外,它還消耗更少的電力,產生更少的熱量,持續時間更長,并且不需要太多的整體維護。


ALE/2系列UV-LED曝光光源可以在光路中組合四個反饋控制的高功率UV-LED。可提供i線(CWL 365 nm)和寬帶(CWL 365 / 405 / 436 nm)配置。在純i線工藝中,ALE/2 系列UV-LED曝光光源的性能可媲美額定功率高達5,000 W的傳統放電汞燈光源。對于寬帶模式,ALE/2系列UV-LED曝光光源的照明功率也可與2,000 W放汞燈光源相媲美。


ALE/2系列UV-LED曝光光源遵循分布式設計方法,通常由一個控制子系統(CSS)+一個單獨的曝光子系統(ESS)組成。ESS 的標準光出口是一個 16 mm X 16 mm 的光管 ,光引擎可以與標準和定制的聚光光學元件結合使用,以實現高度均勻的曝光。


 



70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源(ALE/2系列,12英寸晶圓)應用場


半導體光刻制造(12英寸大基板)
光固化應用和其他
掩膜對準系統
大面積光固化(400mm)
步進系統(封裝)高輻射劑量固化應用
準直曝光系統紫外成像
晶圓光刻曝光
晶圓缺陷檢測



ALE/2系列- 70W大功率-UV-LED曝光光源主要特點:


  • 內置解決方案可實現更高曝光效率和性能;

  • 高達70W的純i線曝光(365nm);

  • 高達80W的寬帶模式曝光(350-450nm);

  • 閉環光控制輸出;

  • 無汞,綠色光源;

  • 無需外部冷卻,更節能;


ALE/2系列 -70W大功率-UV-LED曝光光源性能展示:


ALE/2系列大功率UV-LED曝光光源規格參數:


發光單元選項
多大4個波長,如365nm, 385nm,405nm,435nm
輸出功率up to 80W@寬帶,  up to 70W@i線-365nm
數值孔徑NA 0.3(2a ~35°) 配合標準聚光鏡 (condenser)
控制配置

1、獨立的LED電源管理和預設;

2、高分辨率強度調整(10%-100%);

3、LED上升時間<1ms;

4、持續監控光輸出和反饋控制;

通訊接口

1、離散PLC接口(TTL);

2、USB(串行);

3、以太網/MOdbuS TCP/IP (可選);

熱管理

1、帶內部散熱器的液體冷卻(Standard mode);

2、外部冷卻器(可選項),(performance mode );

尺寸(W H D)

ESS      21 x 21 x 36cm ;

CSS      44 x18  x 37cm ;

重量

ESS      4Kg ;

CSS     10Kg ;

電源輸入110-240V/ 50-60Hz / 1500W




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